Wymagania pomiarowe
Skanowanie trójwymiarowego kształtu powierzchni układu MEMS, wyciągnięcie profilu do pomiaru niektórych odcinków wydruku powierzchni na nim

Przegląd głównych cech
Pomiar bezkontaktowy, zintegrowany projekt

Skanowanie kształtu trójwymiarowe, wielofunkcyjne przetwarzanie danych
3. Nadaje się do precyzyjnych pomiarów różnych materiałów

4. Łatwe w użyciu, łatwe w demontażu

Szybkie skanowanie, wysoka dokładność pozycjonowania

Gwarancja dokładności powtarzania od ± 0,5 do ± 1 μm

7. wysoka stabilność, silna odporność na zakłócenia

Wyniki pomiaru
Różnica wysokości odcinka na powierzchni wynosi około 300 μm

Rozwiązanie problemów z urządzeniami pomiarowymi na obecnym etapie

Wymagania dotyczące materiału pomiarowego
Pomiar kontaktowy, uszkodzenie materiału pomiarowego
Mały zakres pomiaru, niepewna lokalizacja, trudności z pomiarem
Powolna prędkość pomiaru, niska dokładność, duży błąd pomiaru

Złożona struktura, wysokie koszty